儀器設備名稱：環境掃描電子顯微鏡

型號規格

Quanta 450

國別廠家

美國FEI公司

啟用日期

2010.01

負責人

羅玉瓊

設備放置地點

國重樓A209

聯系電話

83032807

技術指標：
  1、電子光學：

·               高性能電子光學鏡筒，雙陽極熱發射電子槍  

·               45度大錐角物鏡極靴，及“穿過透鏡”的壓差真空系統，加熱式物鏡光闌

·               加速電壓: 200 V - 30 kV

·               束流: 最大2μA并連續可調  

·               放大倍數: 6x – 1,000,000 x（四幅圖像顯示）

2、分辨率

·               二次電子(SE)成像：高真空模式：30kV時   3.0nm；3kV時 8.0nm

·     低真空模式：30kV時3.0nm；3kV時 10.0nm

·     ESEM?環境真空模式: 30kV時 3.0nm

·               背散射電子(BSE)成像：30kV時 4 nm  

3、樣品室真空
  < 6′10-4 - 2600Pa；三種真空模式: 高真空、低真空和ESEM環境真空

功能用途：

該設備可在高真空或低真空條件下對各種材料進行微觀結構與微觀形貌的表征，是研究各種材料的顯微結構與性能關系所不可缺少的工具。該設備同時配備了X-射線能譜儀（EDS）、低溫冷凍臺等附件，能夠結合形貌像進行點、線、面微區元素成分的定性、定量分析；也可直接觀察含水、含油樣品。