題目：無源功能薄膜及Si基傳感器集成芯片技術
時間：2018年10月28日19:00-21:00
地點：西南石油大學（南充）第四教學樓4317
主辦單位：西南石油大學南充校區、科研處
主講人：張萬里
內容簡介：隨著摩爾定律的持續放緩，集成功能多樣化的發展道路成為了更多的選擇。芯片化集成需要將無源和敏感材料薄膜化、器件化，并最終與電路IC集成，構成芯片化的微系統。芯片化的過程中主要涉及材料器件集成的關鍵技術，包括在硅襯底上功能薄膜材料與器件的異質集成技術和異構集成技術。在集成過程中，性能測試逐漸變得具有挑戰性，對動態范圍、多類型信號、多材料表征以及晶圓級在線無損檢測都提出了新的要求；同時由于多種材料和器件的集成，多物理場耦合仿真也成為研究的必要手段。此外，集成化程度提高帶來的另一項挑戰則是發熱的問題，需要通過一系列非傳統的方式來克服。
主講人簡介：張萬里，男，1966年2月生，重慶銅梁人，中共黨員，教授，博士生導師。現任電子科技大學電子科學與工程學院常務副院長，示范性微電子學院院長，電子薄膜與集成器件國家重點實驗室副主任，IEEE會員、中國微米納米技術學會高級會員，中國電子學會元器件分會委員，四川省高等學校優秀共產黨員，四川省學術技術帶頭人，國務院政府特殊津貼獲得者，入選國家“有突出貢獻中青年專家”和“國家百千萬人才工程”。 主持和承擔包括國家自然科學基金面上/重點、973重大基礎研究、科技部國際合作專項、“863計劃”重點項目、國家重點研發計劃項目等在內的科研項目30余項；在在APL、JAP、J3M、JMCA等刊物上發表學術論文100余篇，其中被SCI收錄80余篇，參編教材1部。主要研究成果獲得2007年國家技術發明二等獎1項，國防科學技術獎、教育部技術發明獎、科技進步獎以及四川省科技進步獎共7項，授權發明專利25件，推動了相關核心電子薄膜材料與器件的創新發展。
